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    • 產(chǎn)品詳情

    • 產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ

    • 產(chǎn)品型號(hào)：SF-3Rθ
    • 產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價(jià)格：0
    • 折扣價(jià)格：0
    • 產(chǎn)品文檔：
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    簡(jiǎn)單介紹：
    SF-3Rθ OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ
    詳情介紹：
    SF-3Rθ

       OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)

    SF-3AA搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。


    特　長(zhǎng)
    • 提供微細(xì)圖案，提供溫厚和各種厚度信息

      實(shí)現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺(tái)（注2μm以下），實(shí)現(xiàn)高精度的定位

      MEMS和傳感器設(shè)備等對(duì)應(yīng)6英寸韋哈

      （Options）：8和12英寸

      除了晶片形狀以外也可以對(duì)應(yīng)

    測(cè)定項(xiàng)目
    • パターン付きウェーハ
    • シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
    • テンポラリーウェーハ

    スペック

    スペック
    構(gòu)成図

    構(gòu)成図

    測(cè)定例

    ■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）

    Si膜厚分布（約２５ｕｍ）

    Si膜厚分布（約25μｍ）
     

    ボンディング膜厚分布（約２５ｕｍ）
    ボンディング膜厚分布（約25μｍ）

     



    OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3RθOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3Rθ

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