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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

    • 產(chǎn)品型號:
    • 產(chǎn)品廠商:OTSUKA大塚電子
    • 產(chǎn)品價格:0
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    簡單介紹:
    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計 OPTM(Optim)是一種利用顯微分光在微區(qū)域進行**反射率測量,可實現(xiàn)高精度薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)分析的裝置。 涂層膜的厚度和多層膜(如各種薄膜、晶圓和光學(xué)材料)可以無損或非接觸式測量。 測量時間可以高速測量 1 秒/點。 此外,它配備了一個軟件,即使是初學(xué)者可以很容易地分析光學(xué)常數(shù)。
    詳情介紹:

    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A21膜厚計

    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A3膜厚計

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    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A2膜厚計

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    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司代理大塚電子 OPTM-A3膜厚計


    特點
    • 將薄膜厚度測量所需的功能整合到頭部
    • 使用顯微分光進行高精度**反射率測量(多層厚度、光學(xué)常數(shù))
    • 1 點 1 秒以內(nèi)的高速測量
    • 光學(xué)系統(tǒng),在顯微條件下實現(xiàn)寬測量波長范圍(紫外至近紅外)
    • 帶區(qū)域傳感器的**機制
    • 易于分析的向?qū)?,即使是初學(xué)者也能進行光學(xué)常數(shù)分析
    • 具有可自定義測量序列的宏功能
    • 可分析復(fù)雜的光學(xué)常數(shù)(多點分析)
    • 支持 300mm 級
    • 支持各種定制

    可根據(jù)樣品的形狀和部位輕松定制測量序列

    可根據(jù)樣品的形狀和部位輕松定制測量序列


    規(guī)格

    手勢
    類型 OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
    波長范圍 230~800 nm 360~1100 nm 900~1600 nm
    薄膜厚度范圍*1 1 nm~35 μm 7 nm~49 μm 16 nm~92 μm
    樣本大小*2 高達 200×200×17 mm
    點直徑 φ5、φ10、φ20、φ40

    * 以上規(guī)格與自動XY級。

    *1 薄膜厚度范圍為 SiO2轉(zhuǎn)換。

    *2 關(guān)于300毫米級,請聯(lián)系我們。


     

    類型 自動 XY 級類型 固定框架類型 嵌入式頭型
    尺寸
    (W×D×H)
    556×566×618 mm 368×468×491 mm 210×441×474 mm
    90×250×190 mm
    *
    重量 66 kg 38 kg 23 kg
    4 kg
    *
    *大功耗 AC100V±10V 500VA AC100V±10V 400VA

    *交流/直流電源單元

    塔瑪薩崎電子(蘇州)有限公司江蘇代理大塚電子 OPTM-A1膜厚計

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