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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
? 批量
常壓 CVD 設(shè)備，用于在大型托盤(pán)中裝載多個(gè)晶圓
氣相沉積設(shè)備
詳情介紹：
特點(diǎn)
這是一種批量式氣相沉積設(shè)備
常壓CVD裝置，在大型托盤(pán)中裝載多個(gè)晶圓，托盤(pán)在分散頭下往復(fù)沉積。
可對(duì)應(yīng)異形基板。
設(shè)備尺寸緊湊，占用空間小。
性能
| 薄膜厚度均勻性 | 取決于薄膜厚度和薄膜類型 | |||||||||||||||||
| 支持的晶圓尺寸 | 以可加熱區(qū)域?yàn)闇?zhǔn) | |||||||||||||||||
| 氣體種類 |
SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 (TEOS, TEB, TMOP, O3， TMA 可選） |
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| 沉積溫度 | 350～450℃ (200～350℃) | |||||||||||||||||
| 生產(chǎn)力 | ― | |||||||||||||||||
主要規(guī)格
| 設(shè)備尺寸 | 1200mm(W) x 2480mm(D) x 1940mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機(jī)構(gòu) | 電阻加熱 | |||||||||||||||||
| 卸載 | 手動(dòng)方法 | |||||||||||||||||
|
分散頭 （氣體噴嘴） |
A63 頭 | |||||||||||||||||
南京代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
常州代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
昆山代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
無(wú)錫代理AMAYA天谷制作所小型生產(chǎn)和開(kāi)發(fā)的常壓 CVD 設(shè)備 D501
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