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  • 產(chǎn)品詳情
    • 產(chǎn)品名稱:MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-1-1400塔瑪薩崎電子

    • 產(chǎn)品型號(hào):
    • 產(chǎn)品廠商:MDCOM株式會(huì)社
    • 產(chǎn)品價(jià)格:0
    • 折扣價(jià)格:0
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    簡單介紹:
    MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-1-1400塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機(jī)、噴涂預(yù)處理 抗殘?jiān)⒂袡C(jī)物灰化
    詳情介紹:


    MDCOM 株式會(huì)社UV清洗裝置MEUT-1-1400塔瑪薩崎電子主要用途玻璃、薄膜、晶圓、光掩模等的清洗,表面改性CVD、涂布機(jī)、噴涂預(yù)處理 抗殘?jiān)⒂袡C(jī)物灰化

    VUV清洗效果 清洗效果達(dá)到****的潔凈沉程度。PET薄膜從照射前的75.6度大幅降低到14.7度;原片玻璃從照射前的46.1度大幅降低到5度。一塵不染,潔凈如新。

    • 三大步驟

      除去有機(jī)物,增加表面的活性化、親水化;工件的粘著性和緊密性大幅度提高;UV清洗是不會(huì)破壞表面以及不會(huì)形成腐蝕孔的無損傷清洗方式。

      1

      切斷

      切斷有機(jī)物分子:172nm光子能量切斷有機(jī)物分子的結(jié)合(表面改質(zhì)?硬化)

      CmHnOK →Cm‘Hn ‘ Ok’

      2

      吸收與分解

      被氧吸收和分解:172nm被氧吸收,生成活性氧和臭氧,臭氧再分解生成活性氧 O2+hν→O (1D)O3+hν → O2+O (1D)

      3

      結(jié)合

      氧化分解為親水基:被切斷了化學(xué)結(jié)合的原子和活性氧結(jié)合,氧化分解、揮發(fā)后,生成親水基 CO2, H2O, OH-



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    參考規(guī)格

    蘋果 XE(氙氣)準(zhǔn)分子燈*1
    波長 172納米 *1
    安裝的燈具數(shù)量 1*2起的定制設(shè)計(jì)
    有源發(fā)射長度 150毫米~2500毫米
    光。。。。。。。。。。。。 標(biāo)準(zhǔn) 70毫瓦/平方英寸以上 *4
    光。。。。。。。。。。。。 高照度 120毫瓦/平方英寸以上 *4
    光。。。。。。。。。。。。 內(nèi)管水冷高照度 170毫瓦/平方英寸以上 *4
    照度均勻性 ± 10% 以內(nèi)
    陣容
    梅特 標(biāo)準(zhǔn)照度(70mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
    梅烏塔 標(biāo)準(zhǔn)照度 (70mW/cm2),風(fēng)冷
    默斯 高照度(120mW/cm2),水冷系統(tǒng)(電源和燈座)
    默特 大面積體輻照裝置(帶石英窗)
    梅斯-WC 內(nèi)管水冷高照度(170mW/cm2)水冷系統(tǒng)(電源和燈座,內(nèi)管電極)
    *5
    ■ 注
    *1 波長選項(xiàng):222nm
    *2 燈管數(shù)量、有效長度、照射設(shè)備尺寸:定制*3 支持以 10mm 燈管有效長度為增量進(jìn)行定制
    。 對(duì)于有效長度為1700mm或以上,兩個(gè)燈以交錯(cuò)排列的方式排列
    *2 點(diǎn)亮后立即測量大氣管表面(通過照度計(jì)C4/H9536-9535測量)*172 內(nèi)管冷卻需要純水(每盞燈5L/min)






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