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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV 蘇州供應(yīng)UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高準(zhǔn)確性；超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可?。光譜范圍可覆蓋147-2100nm。UVISEL 2 VUV能夠在充氮?dú)饣虺檎婵漳Ｐ拖鹿ぷ?。整個(gè)機(jī)械設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，氮?dú)庀牧康椭?L/min，載樣速度快，2分鐘內(nèi)即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。
詳情介紹：
真空紫外橢偏儀UVISEL 2 VUV 蘇州供應(yīng)
UVISEL 2 VUV專為VUV 測量設(shè)計(jì)，整個(gè)系統(tǒng)處于真空狀態(tài)，無氧氣吸收。具備高準(zhǔn)確性；超快測量速度；快速樣品室抽真空能力，方便快速更換樣品；氮?dú)庀牧可佟?span style="box-sizing:border-box;font-weight:bolder;">光譜范圍可覆蓋147-2100nm。
UVISEL 2 VUV能夠在充氮?dú)饣虺檎婵漳Ｐ拖鹿ぷ鳌Ｕ麄€(gè)機(jī)械設(shè)計(jì)經(jīng)過優(yōu)化，氮?dú)庀牧康椭?L/min，載樣速度快，2分鐘內(nèi)即可完成。真空樣品倉門朝向操作人員更便于樣品裝載。
UVISEL 2 VUV在VUV波段具有高靈敏度，它集成了大功率雙光源、高通量光學(xué)系統(tǒng)以及CaF2光彈調(diào)制晶體和兩個(gè)時(shí)髦的單色儀。從147nm到850nm，樣品測量時(shí)間少于8分鐘，具有良好的信噪比。
UVISEL 2 VUV通過顯著減少氮?dú)庀牧俊⒋祾呒皽y試時(shí)間，改變了VUV橢偏儀的世界。
DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析，輸出報(bào)告，以及自動(dòng)操作的全部功能控制，用戶界面直觀、友好，非常適用于科研及工業(yè)客戶使用。
UVISEL 2 VUV測試速度快、運(yùn)行成本低，使其成為分析147nm到2100nm波段薄膜的理想工具。UVISEL 2 VUV橢偏儀可以定制化和自動(dòng)化。
橢圓偏振光譜儀和FTIR-ATR聯(lián)合表征納米級(jí)高K介電材料
在互補(bǔ)式金屬氧化物半導(dǎo)體（CMOS）中，正在研究用高K介質(zhì)材料替代傳統(tǒng)的SiO2或SiOxNy柵極介電層。本文對(duì)鉿鋁氧化物（HfAlO）進(jìn)行了研究，其物理性能滿足此類應(yīng)用的需求。鋁酸鉿薄膜的結(jié)構(gòu)和組成以及HfAlO/Si界面對(duì)CMOS器件的優(yōu)化具有非常重要的作用。文中采用兩VUV橢圓偏振光譜和紅外光譜（FTIR-ATR）共同表征薄膜的厚度、帶隙附近及以上光學(xué)的特性。
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