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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAF
產(chǎn)品型號：SF-3AAF
產(chǎn)品廠商：OTSUKA大塚電子
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簡單介紹：

SF-3AAF OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng) 搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAFOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAFOTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAF

詳情介紹：

SF-3AAF

OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)

SF-3AA 搭載模式匹配功能，是X-Y定位精度2um以下的系統(tǒng)。

特　長

提供微細圖案，提供溫厚和各種厚度信息

實現(xiàn)高精度X-Y定位舞臺（注2μm以下），實現(xiàn)高精度的定位

MEMS和傳感器設備等對應6英寸韋哈

（Options）：8和12英寸

除了晶片形狀以外也可以對應

測定項目

パターン付きウェーハ
シリコンウェーハ、SiC、GaN、各種化合物ウェーハ
テンポラリーウェーハ

スペック

構(gòu)成図

測定例

■貼り合わせウェーハ（Si／ボンディング／サポート基板）

Si膜厚分布（約25μｍ）

ボンディング膜厚分布（約25μｍ）

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產(chǎn)品名稱：OTSUKA大冢-晶片厚度映射系統(tǒng)SF-3AAF

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