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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
它是一個(gè)具有模式匹配功能和 2um 或更小的 XY 定位精度的系統(tǒng)。
詳情介紹：
- 支持集成到 Φ300mm EFEM 單元的備用端口
- 實(shí)現(xiàn)嵌入在晶片中的布線(xiàn)圖案的圖案對(duì)齊
- 支持半導(dǎo)體工藝的高吞吐量要求
- 支持槽口對(duì)齊功能
- 小尺寸規(guī)格
- TSV嵌入式圖形晶圓研磨后的硅厚度
- 晶圓厚度Φ300mm尺寸
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