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產(chǎn)品中心
產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:南京HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700T

  • 產(chǎn)品型號: D700T
  • 產(chǎn)品廠商:HORIBA堀場
  • 產(chǎn)品價格:0
  • 折扣價格:0
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG流量控制器 高響應(yīng)壓力非敏感質(zhì)量流量器關(guān)鍵的半導體制造過程不斷要求**的氣體流量控制設(shè)備,以實現(xiàn)未來的**,以及**的存儲和邏輯設(shè)備的實驗室到工廠的過渡。HORIBA公司提出了新的基于壓力的MFC D700MG, D500MG的上部兼容型號,以支持客戶的挑戰(zhàn)。
詳情介紹:

總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG 國內(nèi)各區(qū)域銷售



  • 總代HORIBA崛場半導體質(zhì)量流量模塊D700MG

  • 工具上氣體和全尺寸配置更改 *僅 EtherCAT 

    • 為流程優(yōu)化提供靈活性

  • 100 ms 響應(yīng)速度和mfc到mfc的偏差控制

    • 提供高生產(chǎn)力和更大的過程性能

  • 小流量 MRMG 功能(Bin101 - Bin105)

    • 為需要小流量的工藝提供靈活性

  • PFA 噴嘴具有更好的閥門關(guān)閉和耐腐蝕性能

    • 穩(wěn)定性性和較小的顆粒風險,減少停機時間和優(yōu)化產(chǎn)量

  • 狀態(tài)監(jiān)控功能

    • 為更智能的故障預測提供更多的內(nèi)部數(shù)據(jù)

*1 流量精度可低至2 SCCM,因此實際氣體低于2 SCCM以下不保證精度。
*2 在25℃和≤ 1.0 × 10-3 Pa (A)條件下的保證值。
*3 設(shè)定時間為 MFC 輸出信號和 N2 氣體。其他細節(jié)定義遵循“SEMI標準 E17-1011章節(jié) 4.1.4”的設(shè)定時間。
*4 壓力擾動必須小于 20% 的壓力變化/秒和 ±70 kPa/秒(±10 PSI/秒)。
*5 EtherCAT® 是注冊商標和**技術(shù),由德國 Beckhoff Automation GmbH 授權(quán)。


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